Аналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату - Денисюк, Віктор Юрійович; Яблонський, Віталій Валентинович; Черняк, Софія Олександрівна (Луцьк: Вежа-Друк, 2023)
Проведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.
Analysis of scanning probe lithography techniques for obtaining masks in polymethyl methacrylate polymer films
Проведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.
Keywords: мікроскопія; індентування; сканування; зонд; маска; полімер; структура.