DSpace

Зараз показуємо 1 - 2 з 2

Аналіз технологій запису зображень на тонких плівках
(Луцьк: ЛНТУ, 2024) Денисюк, Віктор Юрійович; Кібиш, Олександр Дмитрович
У роботі проведено аналіз сучасних технологій запису зображень на тонких плівках, які застосовуються для виготовлення мікро- та наноструктур у мікроелектроніці, фотоніці, оптичному зв’язку та виробництві напівпровідникових компонентів. Розглянуто особливості традиційних літографічних методів, зокрема DUV- та EUV-літографії, а також безмаскових технологій на основі електронних, іонних та рентгенівських пучків. Показано їхні переваги щодо досягнення нанометрової роздільної здатності та обмеження, пов’язані зі складністю обладнання, високою вартістю та необхідністю роботи у вакуумних умовах. Особливу увагу приділено методу прямого лазерного запису (Direct Laser Writing), який є перспективною альтернативою для створення дифракційних оптичних елементів, фотошаблонів та інших мікрооптичних структур. Проаналізовано різновиди лазерного запису, їхні переваги та недоліки, а також проблеми, пов’язані з дифракційними обмеженнями оптичних систем. Досліджено термохімічний метод запису на тонких металевих плівках, який дозволяє формувати структури з високою просторовою роздільною здатністю завдяки локальному окисненню матеріалу під дією лазерного випромінювання. Розглянуто особливості формування термохімічних зображень на тонких плівках хрому та титану, визначено фактори, що впливають на якість, контрастність і точність запису. Показано перспективність використання титанових плівок з утворенням прозорих оксидів без застосування операцій травлення, що спрощує технологічний процес та підвищує ефективність виготовлення оптичних елементів. Обґрунтовано необхідність подальших теоретичних і експериментальних досліджень для визначення оптимальних режимів лазерного впливу та досягнення субмікронної роздільної здатності при записі структур на тонких металевих плівках.
Особливості лазерного термохімічного запису в інтерференційному полі
(Луцьк: ЛНТУ, 2024) Денисюк, Віктор Юрійович; Кібиш, Олександр Дмитрович
У роботі досліджено особливості лазерного термохімічного запису на тонких металевих плівках в інтерференційному полі для формування мікро- та субмікронних структур. Проаналізовано сучасні підходи до виготовлення нанорозмірних елементів для мікроелектроніки та дифракційної оптики, а також визначено переваги прямого лазерного запису порівняно з традиційними літографічними технологіями. Розглянуто можливості поєднання лазерної інтерференційної літографії та термохімічного окислення тонких металевих плівок для отримання висококонтрастних оптичних структур. Встановлено, що застосування коротких і надкоротких лазерних імпульсів сприяє локалізації теплового впливу, зменшенню розмірів окислених зон та підвищенню просторової роздільної здатності запису. Експериментально підтверджено можливість формування періодичних структур на тонких плівках титану з роздільною здатністю до 0,65 ліній/мкм без виникнення абляційних процесів. За допомогою оптичної мікроскопії та мікрораманівської спектроскопії встановлено утворення оксидів титану в зоні лазерного впливу. Показано, що збільшення кількості пікосекундних імпульсів сприяє підвищенню контрасту сформованих структур. Розроблено та верифіковано розрахункову модель, яка дозволяє визначати оптимальні режими лазерного термохімічного інтерференційного запису для різних металевих плівок і забезпечувати отримання висококонтрастних субмікронних елементів.

Матеріали конференцій

Переглянути

Фільтри

Налаштування

Сортувати за

Результатів на сторінку

Результати пошуку