Мехатронний модуль мікропереміщень двокоординатного столика на базі біморфних п’єзоактюаторів

Abstract

У роботі розроблено мехатронний модуль мікропереміщень двокоординатного столика на базі біморфних п’єзоактюаторів, призначений для високоточного позиціонування об’єктів у мікро- та наносистемній техніці. Запропонована конструкція поєднує систему грубого позиціонування на основі крокових двигунів із модулем точних мікропереміщень, що забезпечує широкий діапазон переміщень та високу точність. Для реалізації зворотного зв’язку використано ємнісні датчики з нанометровою роздільною здатністю, які дозволяють контролювати лінійні та кутові переміщення платформи. Розроблено алгоритм автоматичної компенсації похибок і паразитних переміщень, що забезпечує стабільність та високу точність позиціонування. Результати досліджень підтвердили ефективність запропонованого технічного рішення для застосування в роботизованих системах, оптичних комплексах та медичних діагностичних установках.