В даній роботі розглянуто методи створення, і апробації наноструктурованих зондів для підвищення просторової роздільної здатності і контрасту, розширення функціональних можливостей і достовірності методу скануючої силової мікроскопії. Наведено сучасні типи спеціалізованих зондів для скануючої силової мікроскопії. Розглянуті проблеми метрологічної забезпеченості лінійних вимірювань нанорозмірних об'єктів в скануючій силовій мікроскопії.
