Назва: Метрологічне забезпечення вимірювань в скануючучій силовій мікроскопії з використанням спеціалізованих зондів
Вантажиться...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Луцьк: ЛНТУ
Анотація
В даній роботі розглянуто методи створення, і апробації наноструктурованих зондів для підвищення просторової роздільної здатності і контрасту, розширення функціональних можливостей і достовірності методу скануючої силової мікроскопії. Наведено сучасні типи спеціалізованих зондів для скануючої силової мікроскопії. Розглянуті проблеми метрологічної забезпеченості лінійних вимірювань нанорозмірних об'єктів в скануючій силовій мікроскопії.
Опис
Ключові слова
сканер, скануючий зондовий мікроскоп, зонд, точність, сигнал, зображення, вимірювання.
Бібліографічний опис
Денисюк В. Ю. Метрологічне забезпечення вимірювань в скануючучій силовій мікроскопії з використанням спеціалізованих зондів. «Актуальні проблеми автоматизації та управління»: матер. ІX-ої Міжнар. наук.-практ. інтернет-конф. (м. Луцьк, 30 лист. 2021 р.). Вип. 9. Луцьк: ЛНТУ, 2021. С. 67-73.