(Луцьк: ЛНТУ, 2023) Денисюк, Віктор Юрійович; Пташенчук, Віталій Віталійович
В статті розглядається методика проєктування оптико-електронних приладів, що дозволяють з високою точністю вимірювати поперечні переміщення об’єктів при їх поздовжньому переміщенні від єдиних конструкторських баз. На основі розробленої математичної моделі і застосовних алгоритмів оцінки координат зображень об’єктів сформовані цільові функції проєктування для контролю переміщень, що дозволяють на системотехнічному рівні виконувати проєктні процедури багатоваріантного аналізу і параметричної оптимізації. Запропонована схема оптико-електронних приладів при оптимізованих значеннях параметрів елементів дозволить проводити вимірювання координат об’єктів з середньоквадратичним відхиленням похибки, що не перевищує 1 мкм
В даній роботі розглянуто методи створення, і апробації наноструктурованих зондів для підвищення просторової роздільної здатності і контрасту, розширення функціональних можливостей і достовірності методу скануючої силової мікроскопії. Наведено сучасні типи спеціалізованих зондів для скануючої силової мікроскопії. Розглянуті проблеми метрологічної забезпеченості лінійних вимірювань нанорозмірних об'єктів в скануючій силовій мікроскопії.
