Технічні системи контролю мікро- та наносистемної техніки

Abstract

Методичні вказівки до лабораторних занять з дисципліни «Технічні системи контролю мікро- та наносистемної техніки» містять теоретичні відомості, методичні рекомендації та практичні завдання, спрямовані на формування у здобувачів вищої освіти практичних навичок застосування сучасних методів дослідження та контролю властивостей поверхні матеріалів і мікро- та наноструктур. У методичних вказівках розглянуто чотири лабораторні роботи, присвячені дослідженню матеріалів із використанням сучасних мікроскопічних і спектроскопічних методів. Перше лабораторне заняття спрямоване на вивчення принципів та практичних аспектів дослідження поверхні матеріалів методом скануючої тунельної мікроскопії, що дає змогу отримувати інформацію про атомну структуру та морфологію поверхні. Друге лабораторне заняття присвячено скануючій атомно-силовій мікроскопії. У процесі виконання роботи здобувачі ознайомлюються з принципами функціонування атомно-силового мікроскопа, особливостями взаємодії зонда з поверхнею, формуванням топографічних зображень та аналізом мікро- і нанорельєфу досліджуваних матеріалів. Третє лабораторне заняття передбачає проведення рентгеноспектрального аналізу, що дозволяє визначати елементний склад матеріалів і досліджувати їхні фізико-хімічні характеристики. Розглядаються принципи отримання та аналізу рентгенівських спектрів, ідентифікації хімічних елементів і оцінювання їх вмісту. Четверте лабораторне заняття присвячено оже-електронному аналізу матеріалів. Наведено основні принципи оже-електронної спектроскопії, особливості формування оже-спектрів та методи їх аналізу для визначення елементного складу поверхні матеріалів. Виконання лабораторних робіт сприяє набуттю здобувачами навичок підготовки та проведення експериментальних досліджень, роботи з результатами вимірювань, аналізу мікроскопічних зображень і спектрів, оцінювання властивостей поверхні та формулювання обґрунтованих висновків за результатами експерименту. Методичні вказівки призначені для здобувачів першого (бакалаврського) рівня вищої освіти освітньої програми «Мікро- та наносистемна техніка» спеціальності 176 «Мікро- та наносистемна техніка» денної та заочної форм навчання.