До метрологічного забезпечення вимірювання за допомогою мікроскопа-нанотвердоміра «НаноCкан-3D»

Abstract

Проведено огляд методів і приладової бази для дослідження трибологічних і механічних властивос- тей поверхні. Встановлено, що найбільш поширеними методами дослідження цих властивостей на мікро- і на- нодіапазонах є контактні методи, засновані на взаємодії твердого наконечника з досліджуваним матеріалом. У скануючій зондовій мікроскопії для комплексного дослідження трибологічних і механічних властивостей пове- рхні основним елементом вимірювальних модулів, які використовуються для наноіндентування і склерометрії, є біморфний п’єзокерамічний зондовий датчик з алмазним наконечником. Оригінальна конструкція датчика до- зволяє реалізувати більше десяти вимірювальних методик на одному приладі. Робота цих приладів в напівкон- тактному скануючому зондово-мікроскопічному режимі дозволяє отримати зображення рельєфу поверхні і ка- рту розподілу пружних властивостей. Режим індентування дозволяє виміряти твердість і модуль пружності, оцінити пружне відновлення матеріалу після індентування. Метод дозволяє визначити опір абразивного зно- шення і твердість матеріалу, адгезію і товщину тонких покриттів.