Назва: Аналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Луцьк: Вежа-Друк
Анотація
Проведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.
Опис
Проведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.
Ключові слова
мікроскопія, індентування, сканування, зонд, маска, полімер, структура.
Бібліографічний опис
Денисюк В. Ю., Яблонський В. В., Черняк С. О. Аналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату. Матеріали та технології в інженерії (MTІ-2023): інженерія, матеріали, технології, транспорт: зб. наук. доп. міжнар. конф. (Луцьк, 16-18 трав. 2023 р.). 2023. C. 118-121.