Назва:
Аналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату

Скорочена інформація про документ
custom.quartileВітчизняні фахові наукові видання
dc.contributor.authorДенисюк, Віктор Юрійович
dc.contributor.authorЯблонський, Віталій Валентинович
dc.contributor.authorЧерняк, Софія Олександрівна
dc.date.accessioned2026-06-08T12:34:36Z
dc.date.issued2023
dc.descriptionПроведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.
dc.description.abstractПроведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.
dc.identifier.citationДенисюк В. Ю., Яблонський В. В., Черняк С. О. Аналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату. Матеріали та технології в інженерії (MTІ-2023): інженерія, матеріали, технології, транспорт: зб. наук. доп. міжнар. конф. (Луцьк, 16-18 трав. 2023 р.). 2023. C. 118-121.
dc.identifier.urihttps://lib.lntu.edu.ua/sites/default/files/2025-02/%D0%9C%D0%A2%D0%86-2023%20%E2%94%82%20%D0%97%D0%91%D0%86%D0%A0%D0%9D%D0%98%D0%9A%20%D0%9D%D0%90%D0%A3%D0%9A%D0%9E%D0%92%D0%98%D0%A5%20%D0%94%D0%9E%D0%9F%D0%9E%D0%92%D0%86%D0%94%D0%95%D0%99.pdf
dc.identifier.urihttps://repository.lntu.edu.ua/handle/123456789/3573
dc.language.isouk
dc.publisherЛуцьк: Вежа-Друк
dc.subjectмікроскопія
dc.subjectіндентування
dc.subjectсканування
dc.subjectзонд
dc.subjectмаска
dc.subjectполімер
dc.subjectструктура.
dc.titleАналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату
dc.title.alternativeAnalysis of scanning probe lithography techniques for obtaining masks in polymethyl methacrylate polymer films
dc.typeArticle
dspace.entity.typeStudyCollections

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
МТІ-2023 │ ЗБІРНИК НАУКОВИХ ДОПОВІДЕЙ.pdf
Розмір:
7.53 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.59 KB
Формат:
Item-specific license agreed to upon submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Матеріали конференцій