Назва: Аналіз методів скануючої зондової мікроскопії для контролю та діагностування наномодифікованих матеріалів
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Луцьк: ЛНТУ
Анотація
В даній роботі розглянуто методи створення, і апробації наноструктурованих зондів для підвищення просторової роздільної здатності і контрасту, розширення функціональних можливостей і достовірності методу скануючої силової мікроскопії. Наведено сучасні типи спеціалізованих зондів для скануючої силової мікроскопії. Розглянуті проблеми метрологічної забезпеченості лінійних вимірювань нанорозмірних об'єктів в скануючій силовій мікроскопії.
Опис
В даній роботі розглянуто методи створення, і апробації наноструктурованих зондів для підвищення просторової роздільної здатності і контрасту, розширення функціональних можливостей і достовірності методу скануючої силової мікроскопії. Наведено сучасні типи спеціалізованих зондів для скануючої силової мікроскопії. Розглянуті проблеми метрологічної забезпеченості лінійних вимірювань нанорозмірних об'єктів в скануючій силовій мікроскопії.
Ключові слова
сканер, скануючий зондовий мікроскоп, зонд, точність, сигнал, зображення, вимірювання.
Бібліографічний опис
Денисюк В. Ю., Конончук І. Ю. Аналіз методів скануючої зондової мікроскопії для контролю та діагностування нано-модифікованих матеріалів. Актуальні проблеми автоматизації та управління: матер. X міжнар. наук.-практ. інтернет-конф. (м. Луцьк, 30 лист. 2022 р). Луцьк, 2022. Вип. 9. С. 6-12.