Матеріали конференцій
Постійне посилання зібранняhttps://repository.lntu.edu.ua/handle/123456789/273
Переглянути
3 результатів
Результати пошуку
Item type:Матеріали конференцій, Методика створення літографічних масок з допомогою скануючого зондового мікроскопа(Луцьк: ЛНТУ, 2023) Денисюк, Віктор Юрійович; Яблонський, Віталій ВалентиновичУ даній роботі проведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу. При створенні прямокутних частинок найбільш оптимальною є методика багаторазового сканування однієї області в контактному режимі.Item type:Матеріали конференцій, Підвищення точності системи прецизійного переміщення сканера скануючого зондового мікроскопа(Луцьк: Вежа-Друк, 2023) Денисюк, Віктор Юрійович; Черняк, Софія Олександрівна; Яблонський, Віталій ВалентиновичПредставлено результати досліджень п’єзоелектричного сканера для прецизійних механічних переміщень в скануючому зондовому мікроскопі з ємнісними датчиками переміщення і методи обробки зображень. Обґрунтовано вибір ємнісного датчика із змінним зазором між обкладинками, завдяки високій точності і чутливості, простої і дешевої конструкції, а також мінімальними нелінійними спотвореннями, що вносяться в роботу СЗМ. Оцінка параметрів управління, отримана за допомогою математичної моделі СЗМ, дозволила спроектувати ПІД-регулятор, що забезпечує прецизійне механічне переміщення з заданою точністю. Розроблена методика вимірювань і обробки інформації здатна відстежити ефекти кріпу, гістерезису та інших нелінейностей п’єзокераміки. Вона не залежить від впливу температурних шумів, ефектів зміни параметрів сканера в часі.Item type:Матеріали конференцій, Аналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату(Луцьк: Вежа-Друк, 2023) Денисюк, Віктор Юрійович; Яблонський, Віталій Валентинович; Черняк, Софія ОлександрівнаПроведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.