Кафедра автоматизації та безпілотних систем
Постійне посилання на фондhttps://repository.lntu.edu.ua/handle/123456789/79
Переглянути
3 результатів
Результати пошуку
Item type:Матеріали конференцій, До метрологічного забезпечення вимірювання за допомогою мікроскопа-нанотвердоміра «НаноCкан-3D»(Київ: КПІ ІМ. ІГОРЯ СІКОРСЬКОГО, 2021) Денисюк, Віктор Юрійович; Симонюк, Володимир Павлович; Лапченко, Юрій Сергійович; Тимощук, Антон Анатолійович; Черняк, Софія ОлександрівнаПроведено огляд методів і приладової бази для дослідження трибологічних і механічних властивос- тей поверхні. Встановлено, що найбільш поширеними методами дослідження цих властивостей на мікро- і на- нодіапазонах є контактні методи, засновані на взаємодії твердого наконечника з досліджуваним матеріалом. У скануючій зондовій мікроскопії для комплексного дослідження трибологічних і механічних властивостей пове- рхні основним елементом вимірювальних модулів, які використовуються для наноіндентування і склерометрії, є біморфний п’єзокерамічний зондовий датчик з алмазним наконечником. Оригінальна конструкція датчика до- зволяє реалізувати більше десяти вимірювальних методик на одному приладі. Робота цих приладів в напівкон- тактному скануючому зондово-мікроскопічному режимі дозволяє отримати зображення рельєфу поверхні і ка- рту розподілу пружних властивостей. Режим індентування дозволяє виміряти твердість і модуль пружності, оцінити пружне відновлення матеріалу після індентування. Метод дозволяє визначити опір абразивного зно- шення і твердість матеріалу, адгезію і товщину тонких покриттів.Item type:Матеріали конференцій, Методика створення літографічних масок з допомогою скануючого зондового мікроскопа(Луцьк: ЛНТУ, 2023) Денисюк, Віктор Юрійович; Яблонський, Віталій ВалентиновичУ даній роботі проведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу. При створенні прямокутних частинок найбільш оптимальною є методика багаторазового сканування однієї області в контактному режимі.Item type:Матеріали конференцій, Аналіз методик скануючої зондової літографії для отримання масок в полімерних плівках поліметилметакрилату(Луцьк: Вежа-Друк, 2023) Денисюк, Віктор Юрійович; Яблонський, Віталій Валентинович; Черняк, Софія ОлександрівнаПроведено аналіз методик і способів скануючої зондової літографії для формування літографічних масок для подальшого виготовлення наночастинок з різним аспектним співвідношенням, а також металевих нанорозмірних дротів як окремо розташованих, так і з масивними контактами з одного або різних металів. Встановлено, що методика точкового індентування з включеним зворотним зв’язком є найбільш оптимальною при створення літографічної маски для формування круглих наночастинок при товщині плівки поліметилметакрилату менше 100 нм з використанням спеціальних алмазних зондів. При більш товстих плівках полімеру форма одержуваної маски спотворюється, внаслідок конструктивних особливостей приладу.